[实用新型]一种用于清洗方形硅片的专用夹具

权利要求书

1.一种用于清洗方形硅片的专用夹具，包括夹具机体(1)、定位螺母(2)、活动钳口(3)与固定钳口(4)，其特征在于：所述夹具机体(1)，所述夹具机体(1)的顶部设置有十字悬臂(101)，所述十字悬臂(101)以所述夹具机体(1)轴线为中心呈中心对称，所述十字悬臂(101)的顶部均匀开设有倒T形槽(13)，所述固定钳口(4)设置为空心圆柱体，所述固定钳口(4)的底部均嵌入所述倒T形槽(13)中，所述固定钳口(4)底部尺寸与所述倒T形槽(13)的横截面尺寸相匹配，所述倒T形槽(13)的底部均匀开设有螺纹孔(12)，所述螺纹孔(12)与所述固定钳口(4)底部圆孔同心，所述活动钳口(3)设置于所述倒T形槽(13)的上部所述定位螺母(2)贯穿所述螺纹孔(12)将所述活动钳口(3)与所述固定钳口(4)螺接固定。

2.根据权利要求1所述的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，其特征在于：所述夹具机体(1)设置为空心圆柱凸台结构，且凸台底部设置有空腔，空腔的腔壁均设置有限位槽。

3.根据权利要求1所述的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，其特征在于：所述倒T形槽(13)的槽底两侧面均为圆弧形，所述螺纹孔(12)依据硅片的规格共并列设置有三组。

4.根据权利要求1所述的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，其特征在于：所述夹具机体(1)的外壁上部均匀开设有排液孔(11)，所述排液孔(11)共设置有四组，并所述夹具机体(1)轴线为中心呈中心对称。

5.根据权利要求1所述的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，其特征在于：所述定位螺母(2)的中部为圆柱形，前部设置有螺纹及螺纹退刀槽，尾部设置为大头螺母头的样式。

6.根据权利要求1所述的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，其特征在于：所述活动钳口(3)设置为中间空心的圆柱体，并以所述活动钳口(3)轴线为中心呈中心对称位置设置伸出两个钳口，两个钳口的高度不同，且所述活动钳口(3)为可替换零件，替换不同规格尺寸的所述活动钳口(3)用来夹持不同规格尺寸的硅片。

7.根据权利要求1所述的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，其特征在于：所述固定钳口(4)均设置有底座，底座均开设与所述定位螺母(2)直径相同的安装孔，且底座嵌入所述倒T形槽(13)中，可在所述倒T形槽(13)中滑动，所述固定钳口(4)的内端均设置有L形凸台组成，与所述活动钳口(3)配合夹紧硅片。