[实用新型]一种晶圆撕膜装置有效
| 申请号： | 202121248602.0 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN214824786U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;陶为银;蔡正道;乔赛赛 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65B69/00 | 分类号： | B65B69/00 |
| 代理公司： | 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 | 代理人： | 乔俊霞 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆撕膜装置，涉及晶圆撕膜技术领域，包括工作台，工作台的上表面固定连接有滑轨，滑轨的内部活动连接有放置台，放置台的上表面开设有放置槽，放置槽的内部活动连接有固定盘，放置台的下表面固定连接有支撑框架，支撑框架的上表面固定连接有抽气泵，固定盘的下表面固定连接有第一电机，第一转轴的外表面固定连接有撕膜辊，安装块的一端活动连接有第二转轴，第二转轴的外表面固定连接有剥离杆。本实用新型通过撕膜辊的设置，在使用的过程中，撕膜辊将晶圆片上的膜去除，后经剥离杆的剥离作用将撕膜辊外表面的膜剥离，使撕膜辊可多次利用，从而起到了节约资源的作用，达到了节约生产成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆撕膜 装置 | ||
【主权项】：
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