[实用新型]一种晶圆撕膜装置

权利要求书

1.一种晶圆撕膜装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上表面固定连接有滑轨(2)，所述滑轨(2)的内部活动连接有放置台(3)，所述放置台(3)的上表面开设有放置槽(4)，所述放置槽(4)的内部活动连接有固定盘(5)，所述放置台(3)的下表面固定连接有支撑框架(6)，所述支撑框架(6)的上表面固定连接有抽气泵(7)，所述固定盘(5)的下表面固定连接有第一电机(9)，所述工作台(1)的一侧固定连接有第二电机(12)，所述工作台(1)的上表面固定连接有安装块(14)，所述安装块(14)的中部活动连接有第一转轴(15)，所述第一转轴(15)的外表面固定连接有撕膜辊(16)，所述安装块(14)的一端活动连接有第二转轴(18)，所述第二转轴(18)的外表面固定连接有剥离杆(19)，所述第二转轴(18)的一端固定连接有第四电机(20)，所述滑轨(2)的上表面固定连接有收纳盒(21)，所述工作台(1)的下表面固定连接有支撑腿(22)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述固定盘(5)的内部设有空腔(501)，所述固定盘(5)的上表面开设有通孔(502)，所述固定盘(5)的上表面固定连接有橡胶垫(503)，所述固定盘(5)的下表面固定连接有导向杆(504)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述抽气泵(7)的输入端固定连接有导管(8)，所述导管(8)的一端与固定盘(5)的下表面固定连接，所述放置台(3)的下表面固定连接有铰接块(11)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述第一电机(9)的输出端固定连接有第一丝杆(10)，所述第一丝杆(10)的一端贯穿支撑框架(6)的上表面，所述第一丝杆(10)的外表面与支撑框架(6)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述第二电机(12)的输出轴贯穿工作台(1)的一侧，所述第二电机(12)的输出轴固定连接有第二丝杆(13)，所述第二丝杆(13)的另一端与工作台(1)的一侧活动连接，所述第二丝杆(13)的外表面与铰接块(11)的内部螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜装置，其特征在于：所述撕膜辊(16)有若干个且呈矩形阵列方式均匀分布，所述撕膜辊(16)的外表面涂有粘度大于晶圆膜的胶水，所述剥离杆(19)有若干个且呈矩形阵列方式均匀分布，所述剥离杆(19)与撕膜辊(16)之间的缝隙对应设置。