[实用新型]一种线性蒸发源

摘要

本实用新型提出了一种线性蒸发源，包括坩埚本体、第一副阻挡板和设置在坩埚本体内部的主阻挡板，坩埚本体的顶部均匀设置有多个喷嘴，主阻挡板将坩埚本体的内部分割成两个上下分布的容置空间，主阻挡板开设有用于连通两个容置空间的开口，第一副阻挡板位于开口与喷嘴之间。位于下部的容置空间用于容纳镀膜材料，镀膜材料被加热蒸发后会聚集在开口处，在开口处聚集的蒸气能够更好地混合，使蒸气的组分更加均匀；第一副阻挡板的设置能够将汇集后的蒸气分散开来，使各个喷嘴能够更加均匀地分配到浓度和组分相近的蒸气，从而改善镀膜的均匀性。