[实用新型]一种线性蒸发源

权利要求书

1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括坩埚本体、第一副阻挡板和设置在所述坩埚本体内部的主阻挡板，所述坩埚本体的顶部均匀设置有多个喷嘴，所述主阻挡板将所述坩埚本体的内部分割成两个上下分布的容置空间，所述主阻挡板开设有用于连通两个所述容置空间的开口，所述第一副阻挡板位于所述开口与所述喷嘴之间。

2.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于，所述坩埚本体包括槽体和盖合在所述槽体顶部的盖体，所述盖体设置有所述喷嘴。

3.根据权利要求2所述的一种线性蒸发源，其特征在于，还包括第二副阻挡板，所述第二副阻挡板设置在所述开口与所述槽体的底部壁面之间。

4.根据权利要求3所述的一种线性蒸发源，其特征在于，所述开口的数量为多个，所述喷嘴与每个所述开口之间均设置有一个所述第一副阻挡板，所述槽体的底部壁面与每个所述开口之间均设置有一个所述第二副阻挡板。

5.根据权利要求3所述的一种线性蒸发源，其特征在于，所述槽体的内侧壁设置有用于架设所述主阻挡板的凸台。

6.根据权利要求3所述的一种线性蒸发源，其特征在于，还包括支撑柱，所述第一副阻挡板的底部和所述第二副阻挡板的顶部分别与所述支撑柱的两端连接，所述支撑柱的侧壁与所述开口的侧壁连接。

7.根据权利要求6所述的一种线性蒸发源，其特征在于，所述第一副阻挡板和所述第二副阻挡板均与所述支撑柱可拆卸连接。

8.根据权利要求3所述的一种线性蒸发源，其特征在于，所述坩埚本体为长方体壳体结构，所述第一副阻挡板与所述第二副阻挡板均为矩形结构，所述第一副阻挡板的长度大于所述第二副阻挡板的长度。

9.根据权利要求8所述的一种线性蒸发源，其特征在于，所述第一副阻挡板与所述第二副阻挡板的宽度均小于所述容置空间的宽度。

10.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于，还包括电热丝，所述电热丝设置在所述坩埚本体的底部，所述电热丝与所述坩埚本体的底部外侧壁具有间隙。