[实用新型]一种线性蒸发源

说明书

本实用新型提出了一种线性蒸发源，包括坩埚本体、第一副阻挡板和设置在坩埚本体内部的主阻挡板，坩埚本体的顶部均匀设置有多个喷嘴，主阻挡板将坩埚本体的内部分割成两个上下分布的容置空间，主阻挡板开设有用于连通两个容置空间的开口，第一副阻挡板位于开口与喷嘴之间。位于下部的容置空间用于容纳镀膜材料，镀膜材料被加热蒸发后会聚集在开口处，在开口处聚集的蒸气能够更好地混合，使蒸气的组分更加均匀；第一副阻挡板的设置能够将汇集后的蒸气分散开来，使各个喷嘴能够更加均匀地分配到浓度和组分相近的蒸气，从而改善镀膜的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及OLED蒸镀设备线性蒸发源技术领域，更具体地，涉及一种线性蒸发源。

背景技术

OLED(Organic Light–Emitting Diode，有机发光二极管)显示技术打破了主流液晶显示技术的主导地位，其具有色域广、对比度高、功耗小、产品可折叠等特点，逐步运用于各大显示行业，包括智能手机、平板电脑、智能手表等，具有极佳的发展潜力。

OLED核心技术为真空镀膜技术。目前通常采用蒸发源装置将镀膜材料高温熔化、蒸发至基板，沉积并形成有机薄膜，不同种类镀膜材料薄膜受到能量激发进而发出不同颜色。

为了满足高产能、大尺寸的产品需求，目前行业主流采用线性蒸发源代替点蒸发源，并采用来回扫描的方式进行蒸镀。线性蒸发源由点蒸发源按照一定规则排列形成，其缺点在于缺少点蒸发源的优良均匀镀膜的特性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种线性蒸发源，能够改善镀膜的均匀性。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型的一些实施例中提供一种线性蒸发源，包括坩埚本体、第一副阻挡板和设置在坩埚本体内部的主阻挡板，坩埚本体的顶部均匀设置有多个喷嘴，主阻挡板将坩埚本体的内部分割成两个上下分布的容置空间，主阻挡板开设有用于连通两个容置空间的开口，第一副阻挡板位于开口与喷嘴之间。

在本实用新型的一些实施例中，坩埚本体包括槽体和盖合在槽体顶部的盖体，盖体设置有喷嘴。

在本实用新型的一些实施例中，还包括第二副阻挡板，第二副阻挡板设置在开口与槽体的底部壁面之间。

在本实用新型的一些实施例中，开口的数量为多个，喷嘴与每个开口之间均设置有一个第一副阻挡板，槽体的底部壁面与每个开口之间均设置有一个第二副阻挡板。

在本实用新型的一些实施例中，槽体的内侧壁设置有用于架设主阻挡板的凸台。

在本实用新型的一些实施例中，还包括支撑柱，第一副阻挡板的底部和第二副阻挡板的顶部分别与支撑柱的两端连接，支撑柱的侧壁与开口的侧壁连接。

在本实用新型的一些实施例中，第一副阻挡板和第二副阻挡板均与支撑柱可拆卸连接。

在本实用新型的一些实施例中，坩埚本体为长方体壳体结构，第一副阻挡板与第二副阻挡板均为矩形结构，第一副阻挡板的长度大于第二副阻挡板的长度。

在本实用新型的一些实施例中，第一副阻挡板和第二副阻挡板的宽度均小于容置空间的宽度。

在本实用新型的一些实施例中，还包括电热丝，电热丝设置在坩埚本体的底部，电热丝与坩埚本体的底部外侧壁具有间隙。

相对于现有技术，本实用新型的实施例至少具有如下优点或有益效果：