[实用新型]一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备有效
| 申请号： | 202121204110.1 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN215050656U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22D19/04 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备。旋转靶材绑定设备包括震动敲击装置，震动敲击装置包括固定环、以绕固定环一圈的方式安装在固定环上多条金属片，以及用于安装固定环的震动器，震动器震动则带动固定环以及安装在固定环上的全部金属片一起震动。该具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将震动敲击装置的金属片伸入背管与靶管之间的间隙，驱动金属片震动以敲击背管外表面和/或靶管内表面，利用敲击带动背管和靶管震动，除去两者上的氧化铟层或其他氧化物，提升铟与靶材/背管的贴合率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 氧化物 震动 敲击 装置 旋转 绑定 设备 | ||
【主权项】：
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