[实用新型]一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备

权利要求书

1.具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，绑定装置包括底座、注铟装置和背管安装位，其特征是，还包括震动敲击装置，震动敲击装置包括固定环、以绕固定环一圈的方式安装在固定环上多条金属片，以及用于安装固定环的震动器，震动器震动则带动固定环以及安装在固定环上的全部金属片一起震动。

2.根据权利要求1所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，这些金属片都安装在固定环外周。

3.根据权利要求2所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，金属片上部固定到固定环处开有贯穿的安装孔，震动器从内卡住固定环内壁，从外卡住这些金属片的安装孔，从而将金属片与固定环装在一起。

4.根据权利要求1所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，多条金属片间隔均布在固定环外周。

5.根据权利要求1所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，所述金属片是弹簧钢片。

6.根据权利要求1所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，震动器包括震动电机或震动气缸。

7.根据权利要求1所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，所述固定环的直径在背管的外径与靶管的内径之间。

8.根据权利要求1所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，所述固定环的弧度与环状靶管的圆弧形状相适应。

9.根据权利要求1所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，包括用于安装在背管上方的铟液容置腔。

10.根据权利要求1所述的具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其特征是，还包括罩在旋转靶材外周的外加热结构，外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部的密封盖。