[实用新型]一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备

说明书

本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备。旋转靶材绑定设备包括震动敲击装置，震动敲击装置包括固定环、以绕固定环一圈的方式安装在固定环上多条金属片，以及用于安装固定环的震动器，震动器震动则带动固定环以及安装在固定环上的全部金属片一起震动。该具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将震动敲击装置的金属片伸入背管与靶管之间的间隙，驱动金属片震动以敲击背管外表面和/或靶管内表面，利用敲击带动背管和靶管震动，除去两者上的氧化铟层或其他氧化物，提升铟与靶材/背管的贴合率。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备。

背景技术

近年来，采用溅射法制备的薄膜材料因其高致密度、优良附着性等优点，受到平面显示器、电子控制器、玻璃镀膜、光学薄膜等行业的青睐。随着上述领域的高速发展，溅射靶材的需求量急剧增加。根据溅射面的形状，靶材通常可分为平面靶材，旋转靶材和异型靶材。平面靶材溅射使用可达到30％～40％，而旋转靶材溅射使用率可达到80％，旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕在固定的磁控溅射设备上旋转，可360度均匀刻蚀靶面，这样均匀的使用让靶材表面光滑，减少“结瘤”现象的产生，提升镀膜均匀性，提高靶材的利用率，从而降低镀膜成本，因此旋转靶材是未来发展的一大趋势。

在旋转靶材的制备工艺中，对于无法用喷涂浇筑方式生产的陶瓷靶材和某些金属靶材，需用绑定贴合法(绑定)将需要溅射的靶材与背管绑定。目前绑定方法大多是将直径较大的外管靶材套在直径相对较小的背管上，用金属铟或导电胶等具有良好导电导热性能的焊料填充两者的间隙，将外管靶材和背管焊接。用金属铟绑定的方法需要将铟加热并维持在熔点以上的状态时注入，金属铟容易在空气中氧化，使得铟与靶材/背管的贴合率低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，其能提升绑定环节中铟与靶材/背管的贴合率。

提供一种具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，绑定装置包括底座、注铟装置和背管安装位，还包括震动敲击装置，震动敲击装置包括固定环、以绕固定环一圈的方式安装在固定环上多条金属片，以及用于安装固定环的震动器，震动器震动则带动固定环以及安装在固定环上的全部金属片一起震动。

优选地，这些金属片都安装在固定环外周。

优选地，金属片上部固定到固定环处开有贯穿的安装孔，震动器从内卡住固定环内壁，从外卡住这些金属片的安装孔，从而将金属片与固定环装在一起。

优选地，多条金属片间隔均布在固定环外周。

优选地，所述金属片是弹簧钢片。

优选地，震动器包括震动电机或震动气缸。

优选地，所述固定环的直径在背管的外径与靶管的内径之间。

优选地，所述固定环的弧度与环状靶管的圆弧形状相适应。

优选地，包括用于安装在背管上方的铟液容置腔。

优选地，还包括罩在旋转靶材外周的外加热结构，外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部的密封盖。

有益效果：该具有去氧化物震动敲击装置的旋转靶材绑定设备自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将震动敲击装置的金属片伸入背管与靶管之间的间隙，驱动金属片震动以敲击背管外表面和/或靶管内表面，利用敲击带动背管和靶管震动，除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物)，提升铟与靶材/背管的贴合率。

附图说明

图1是本实用新型的旋转靶材的绑定设备的一种实施例的结构示意图。