[实用新型]一种晶片取片器有效

专利信息
申请号: 202121196895.2 申请日: 2021-05-31
公开(公告)号: CN216120255U 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 周一;毕洪伟;彭杰 申请(专利权)人: 威科赛乐微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 黄宗波
地址: 404000 重庆市*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 实用新型涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种晶片取片器,包括底座,底座上固定安装有卡塞挡板,底座上于卡塞挡板对应的位置开设有安装槽,安装槽内固定安装有取片机构,取片机构包括伸缩组件和滑动组件,滑动组件位于伸缩组件的下方,伸缩组件包括两根相互平行的第一滑轨和自动滑块,两根第一滑轨的两端分别固定在安装槽相对称的两侧壁上,自动滑块穿射在第一滑轨上,自动滑块内安装有伸缩板,伸缩板靠近滑动组件的一端固定安装有多个滚轮。本实用新型公开了一种晶片取片器,能够在不接触临近晶片、以及不接触晶片正面的情况下取出晶片,能够有效的避免拿取的过程中对相邻晶片的损伤,且能够保证晶片表面的洁净度。
搜索关键词: 一种 晶片 取片器
【主权项】:
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