[实用新型]一种晶片取片器有效
申请号: | 202121196895.2 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN216120255U | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 周一;毕洪伟;彭杰 | 申请(专利权)人: | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 黄宗波 |
地址: | 404000 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;50 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种晶片取片器,包括底座,底座上固定安装有卡塞挡板,底座上于卡塞挡板对应的位置开设有安装槽,安装槽内固定安装有取片机构,取片机构包括伸缩组件和滑动组件,滑动组件位于伸缩组件的下方,伸缩组件包括两根相互平行的第一滑轨和自动滑块,两根第一滑轨的两端分别固定在安装槽相对称的两侧壁上,自动滑块穿射在第一滑轨上,自动滑块内安装有伸缩板,伸缩板靠近滑动组件的一端固定安装有多个滚轮。本实用新型公开了一种晶片取片器,能够在不接触临近晶片、以及不接触晶片正面的情况下取出晶片,能够有效的避免拿取的过程中对相邻晶片的损伤,且能够保证晶片表面的洁净度。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶片 取片器 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造