[实用新型]一种新型卧式低压沉积炉专用载片舟有效
| 申请号： | 202121194055.2 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN215251143U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 林镇辉;姚旭;于鑫 | 申请（专利权）人： | 厦门吉顺芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 陈方淮;蔡学俊 |
| 地址： | 361021 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型卧式低压沉积炉专用载片舟，包括由底壳和上盖拼合而成的载片盒体，所述底壳和上盖上均匀分布有进气孔，所述底壳上设置有用以均匀排布产品片的限位机构。本实用新型载片舟采用盒状结构，将产品完全包裹在盒体内，产品片均匀排布在盒体中，可实现沉积气体均匀进入到盒体内，提高产品片上沉积膜厚及电阻率的均匀性，降低带膜颗粒，提高产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 卧式 低压 沉积 专用 载片舟 | ||
【主权项】：
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