[实用新型]一种新型卧式低压沉积炉专用载片舟有效
| 申请号： | 202121194055.2 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN215251143U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 林镇辉;姚旭;于鑫 | 申请（专利权）人： | 厦门吉顺芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 陈方淮;蔡学俊 |
| 地址： | 361021 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 卧式 低压 沉积 专用 载片舟 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型卧式低压沉积炉专用载片舟，其特征在于：包括由底壳和上盖拼合而成的载片盒体，所述底壳和上盖上均匀分布有进气孔，所述底壳上设置有用以均匀排布产品片的限位机构。
2.根据权利要求1所述的新型卧式低压沉积炉专用载片舟，其特征在于：所述底壳和上盖两者纵截面均呈半圆形。
3.根据权利要求1或2所述的新型卧式低压沉积炉专用载片舟，其特征在于：所述限位机构包括位于底壳内底部和侧面并且相平行的限位条，所述限位条上沿其长度方向分布有齿槽。
4.根据权利要求2所述的新型卧式低压沉积炉专用载片舟，其特征在于：所述进气孔为长缝孔，并且长度方向平行于底壳和上盖的轴心线，所述底壳下侧设置有支脚。
5.根据权利要求1所述的新型卧式低压沉积炉专用载片舟，其特征在于：所述底壳两端设置有插管，所述上盖两端设置有与插管插接配合的插杆，所述插杆端部呈锥形。
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