[实用新型]一种新型卧式低压沉积炉专用载片舟

说明书

本实用新型涉及一种新型卧式低压沉积炉专用载片舟，包括由底壳和上盖拼合而成的载片盒体，所述底壳和上盖上均匀分布有进气孔，所述底壳上设置有用以均匀排布产品片的限位机构。本实用新型载片舟采用盒状结构，将产品完全包裹在盒体内，产品片均匀排布在盒体中，可实现沉积气体均匀进入到盒体内，提高产品片上沉积膜厚及电阻率的均匀性，降低带膜颗粒，提高产品品质。

技术领域

本实用新型涉及低压沉积设备领域，特别是一种新型卧式低压沉积炉专用载片舟。

背景技术

低压沉石英舟为低压沉积卧式炉作业TEOS、POLY、SIN沉积等工步使用的承载产品片所必须的工夹器具；传统使用石英舟，会出现片内、片间膜厚及电阻率均匀性偏差的问题，以及炉内0.3um带膜颗粒超标（带膜颗粒一直不稳定，带膜颗粒数会达到上千颗）的问题，对低压卧式沉积炉作业带来很大影响，膜厚均匀性不良会影响厚度刻蚀或腐蚀工段的刻蚀一致性问题，电阻率不一致会影响产品各参数一致性问题，颗粒超标会严重影响作业产品的良率问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种结构新颖，实用性强的新型卧式低压沉积炉专用载片舟，有效提高产品片上沉积膜厚及电阻率的均匀性，降低带膜颗粒。

本实用新型采用以下方案实现：一种新型卧式低压沉积炉专用载片舟，包括由底壳和上盖拼合而成的载片盒体，所述底壳和上盖上均匀分布有进气孔，所述底壳上设置有用以均匀排布产品片的限位机构。

进一步的，所述底壳和上盖两者纵截面均呈半圆形。

进一步的，所述限位机构包括位于底壳内底部和侧面并且相平行的限位条，所述限位条上沿其长度方向分布有齿槽。

进一步的，所述进气孔为长缝孔，并且长度方向平行于底壳和上盖的轴心线，所述底壳下侧设置有支脚。

进一步的，所述底壳两端设置有插管，所述上盖两端设置有与插管插接配合的插杆，所述插杆端部呈锥形。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：该新型卧式低压沉积炉专用载片舟结构新颖，设计合理，实用性强，采用盒状结构，将产品完全包裹在盒体内，产品片均匀排布在盒体中，可实现沉积气体均匀进入到盒体内，提高产品片上沉积膜厚及电阻率的均匀性，降低带膜颗粒，提高产品品质。

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下将通过具体实施例和相关附图，对本实用新型作进一步详细说明。

附图说明

图1是本实用新型实施例底壳和上盖分离状态正视图；

图2是图1的纵向剖视图；

图3是本实用新型实施例中底壳俯视图；

图4是本实用新型实施例中上盖仰视图；

图5是本实用新型实施例中限位条构造示意图；

图中标号说明：100-载片盒体、110-底壳、120-上盖、130-进气孔、140-限位条、141-齿槽、150-支脚、160-插管、170-插杆、180-把手。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。