[实用新型]一种二氧化钛靶材专用的退火炉

摘要

本实用新型公开了一种二氧化钛靶材专用的退火炉，包括炉体，炉体的前端通过合页铰接有柜门，柜门与炉体之间设置有锁紧机构，炉体的侧壁上缠绕有加热丝，炉体的外壁上设置有加热器；所述炉体的内部设置有若干层料架；所述炉体的顶端和底端均设置有风管，风管上设置有若干个吹风口；所述炉体的上方设置有真空泵；所述炉体的外壁上包设有一层保温层；所述炉体的内部设置有温度传感器，炉体的外壁上设置有PLC控制器，温度传感器的输出端连接PLC控制器的输入端，PLC控制器的输出端分别连接加热器、风机和真空泵的输入端。实用新型通过真空泵抽取退火炉内的空气后向炉内输送氮气，在靶材加热的过程中，能够防止靶材表面氧化，提高了靶材退火的合格率。