[实用新型]一种二氧化钛靶材专用的退火炉

说明书

本实用新型公开了一种二氧化钛靶材专用的退火炉，包括炉体，炉体的前端通过合页铰接有柜门，柜门与炉体之间设置有锁紧机构，炉体的侧壁上缠绕有加热丝，炉体的外壁上设置有加热器；所述炉体的内部设置有若干层料架；所述炉体的顶端和底端均设置有风管，风管上设置有若干个吹风口；所述炉体的上方设置有真空泵；所述炉体的外壁上包设有一层保温层；所述炉体的内部设置有温度传感器，炉体的外壁上设置有PLC控制器，温度传感器的输出端连接PLC控制器的输入端，PLC控制器的输出端分别连接加热器、风机和真空泵的输入端。实用新型通过真空泵抽取退火炉内的空气后向炉内输送氮气，在靶材加热的过程中，能够防止靶材表面氧化，提高了靶材退火的合格率。

技术领域

本实用新型涉及退火技术领域，特别是一种二氧化钛靶材专用的退火炉。

背景技术

二氧化钛靶材在生产的过程中，需要使用退火炉对零件进行加热处理，将二氧化钛靶材缓慢加热到一定温度，保持足够的时间后，然后再以十一的速度冷却，来降低靶材的硬度，消除靶材的残余应力，减少变形与裂纹倾向，达到调整组织，消除组织缺陷的目的。

目前在对靶材退火时，将二氧化钛靶材放置到退火炉中，然后对退火炉进行加温，待加热到一定温度停止加热，退火炉缓慢冷却，在退火处理完成后，将靶材从退火炉中取出。由于二氧化钛在高温环境中接触氧气后，很容易发出氧化，使靶材无法达到退火后的效果，产品的合格率降低。

现有的退火炉为了保证零件退火的效果，只能进行少量的零件退火处理，而且每次退火的时间也比较久，因此退火炉的工作效率比较低，无法满足后续的生产需求，为了提高靶材的产量，需要投入多个退火炉，这样不仅增大了占地面积，还提高了生产成本。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种二氧化钛靶材专用的退火炉，防止二氧化钛靶材氧化，提高靶材退火的合格率。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下。

一种二氧化钛靶材专用的退火炉，包括炉体，炉体的前端通过合页铰接有柜门，柜门与炉体之间设置有用于锁紧柜门与炉体的锁紧机构，炉体的侧壁上缠绕有用于对炉体进行加热的加热丝，炉体的外壁上设置有用于给加热丝供电的加热器；所述炉体的内部设置有若干层用于放置靶材的料架；所述炉体的顶端和底端均设置有连通炉体外部风机的风管，风管上设置有若干个朝向炉体内侧的吹风口；所述炉体的上方设置有用于抽取炉体内空气的真空泵；所述炉体的外壁上包设有一层用于保温的保温层；所述炉体的内部设置有用于采集炉体内温度的温度传感器，炉体的外壁上设置有用于退火炉工作的PLC控制器，温度传感器的输出端连接PLC控制器的输入端，PLC控制器的输出端分别连接加热器、风机和真空泵的输入端。

上述一种二氧化钛靶材专用的退火炉，所述炉体的上端设置有用于向炉体内输送氮气的氮气进气管，炉体的下方设置有用于排出炉体内多余氮气的氮气出气管。

上述一种二氧化钛靶材专用的退火炉，所述氮气出气管上连通有用于回收多余氮气的氮气回收罐。

上述一种二氧化钛靶材专用的退火炉，所述料架上开设有若干个用于通风的通孔。

上述一种二氧化钛靶材专用的退火炉，所述锁紧机构包括设置在柜门上与合页相对一侧的锁舌和设置在炉体上穿过锁舌的螺栓，螺栓上设置有用于固定锁舌与螺栓的锁紧螺母。

上述一种二氧化钛靶材专用的退火炉，所述柜门的边沿与炉体的连接处设置用于密封的密封圈。

由于采用了以上技术方案，本实用新型所取得技术进步如下。

本实用新型通过真空泵抽取退火炉内的空气后向炉内输送氮气，在靶材加热的过程中，能够防止靶材表面氧化，提高了靶材退火的合格率，并在炉体内放置多层料架，一次可实现多个靶材的退火，提高了退火炉的工作效率，

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；