[实用新型]一种二氧化钛靶材专用的退火炉

权利要求书

1.一种二氧化钛靶材专用的退火炉，包括炉体(1)，炉体(1)的前端通过合页铰接有柜门(15)，柜门(15)与炉体(1)之间设置有用于锁紧柜门(15)与炉体(1)的锁紧机构，炉体(1)的侧壁上缠绕有用于对炉体进行加热的加热丝(2)，炉体(1)的外壁上设置有用于给加热丝供电的加热器(3)；其特征在于：所述炉体(1)的内部设置有若干层用于放置靶材的料架(8)；所述炉体(1)的顶端和底端均设置有连通炉体(1)外部风机(11)的风管(9)，风管(9)上设置有若干个朝向炉体内侧的吹风口(10)；所述炉体(1)的上方设置有用于抽取炉体内空气的真空泵(14)；所述炉体(1)的外壁上包设有一层用于保温的保温层(4)；所述炉体(1)的内部设置有用于采集炉体内温度的温度传感器(12)，炉体(1)的外壁上设置有用于退火炉工作的PLC控制器(13)，温度传感器的输出端连接PLC控制器的输入端，PLC控制器的输出端分别连接加热器、风机和真空泵的输入端。

2.根据权利要求1所述的一种二氧化钛靶材专用的退火炉，其特征在于：所述炉体(1)的上端设置有用于向炉体(1)内输送氮气的氮气进气管(5)，炉体(1)的下方设置有用于排出炉体内多余氮气的氮气出气管(6)。

3.根据权利要求2所述的一种二氧化钛靶材专用的退火炉，其特征在于：所述氮气出气管(6)上连通有用于回收多余氮气的氮气回收罐(7)。

4.根据权利要求1所述的一种二氧化钛靶材专用的退火炉，其特征在于：所述料架(8)上开设有若干个用于通风的通孔(81)。

5.根据权利要求1所述的一种二氧化钛靶材专用的退火炉，其特征在于：所述锁紧机构包括设置在柜门(15)上与合页相对一侧的锁舌(16)和设置在炉体(1)上穿过锁舌的螺栓(17)，螺栓(17)上设置有用于固定锁舌与螺栓的锁紧螺母(18)。

6.根据权利要求1所述的一种二氧化钛靶材专用的退火炉，其特征在于：所述柜门(15)的边沿与炉体(1)的连接处设置用于密封的密封圈。