[实用新型]一种MEMS结构的封装件有效
申请号: | 202121107979.4 | 申请日: | 2021-05-21 |
公开(公告)号: | CN215871838U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 魏状状;刘端 | 申请(专利权)人: | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本申请公开了一种MEMS结构的封装件,包括:基板;ASIC芯片,固定于所述基板上方;MEMS结构,具有空腔并且固定于所述基板上方,并且所述ASIC芯片处于所述空腔内;外壳,固定于所述基板上方,并且所述外壳与所述基板构成收容腔,所述MEMS结构和所述ASIC芯片位于所述收容腔内。以上提供的封装件中,将ASIC芯片置于MEMS结构的空腔内,从而减小了封装件的体积。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 结构 封装 | ||
【主权项】:
暂无信息
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