[实用新型]一种镀膜机有效
| 申请号： | 202121099027.2 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN216337924U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李俊华;王文;丁家昌;艾其波 | 申请（专利权）人： | 安徽亦高光电科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 南昌恒桥知识产权代理事务所(普通合伙) 36125 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 237000 安徽省六安市舒城县杭埠镇经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
一种镀膜机，其特征在于：包括真空室、基片架、镀前清洗机、AF前清洗机，所述真空室内设置有旋转平台，所述真空室绕圆周均匀设置有真空镀膜腔，所述真空室为高1.8m、直径3m的圆心结构，使得真空室体积处于6‑18m |
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| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【主权项】：
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