[实用新型]一种镀膜机

权利要求书

1.一种镀膜机，其特征在于：包括真空室（1）、基片架（11）、镀前清洗机（12）、AF前清洗机（13），所述真空室（1）内设置有旋转平台（101），所述真空室（1）绕圆周均匀设置有真空镀膜腔体，所述真空室（1）通过环形设计与出片室（1001）、补充台（1002）、出片台（1003）、出片旋转接送片台（1004）、基片架回线台（18）、进片旋转接送片台（901）、进片台（902）、进片室（903）依次相连构成循环回路，所述进片台（902）与所述进片室（903）之间通过阀门十一（904）连接，所述进片室（903）与所述真空室（1）之间通过阀门一（905）连接，所述真空室（1）与所述出片室（1001）之间通过阀门十（1005）连接，所述出片室（1001）与所述补充台（1002）通过阀门十二（1006）连接，所述真空室（1）为圆形立柱，内部下端安装有360°旋转轨道（106），所述360°旋转轨道（106）上设置有旋转轴承（107），所述旋转轴承（107）下方设置有轴承电机（108），所述轴承电机（108）与所述旋转轴承（107）控制连接，所述真空室上端设置有传输轨道（109），所述360°旋转轨道（106）根据设备真空镀膜腔数量对应分为若干链接点（110），所述链接点（110）上均设置有光电感应器（111）。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空室（1）为高1.8m、直径3m的圆心结构，使得真空室（1）体积处于6-18m³之间。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜腔体设置一个或者多个溅射室（15），所述旋转平台（101）上设置有双旋转轨道（103），所述真空镀膜腔体均设置有轨道（104）与所述旋转平台（101）上的所述双旋转轨道（103）对应，所述进片台（902）、所述进片旋转接送片台（901）、所述出片台（1003）、所述出片旋转接送片台（1004）、所述基片架回线台（18）、所述进片室（903）、所述出片室（1001）和所述补充台（1002）均设置有轨道（104）使得所述基片架（11）能始终在轨道（104）上运动，所述双旋转轨道（103）一端可绕所述旋转平台（101）转动，所述双旋转轨道（103）外侧设置有圆形盘（105），所述圆形盘（105）绕自身转动，所述圆形盘（105）上可同时容纳3个基片架（11），使得所述旋转平台（101）可满足多个基片架（11）同时工作运转。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜腔体与真空室（1）连接处设置有过渡仓（102），所述进片台（902）和所述进片旋转接送片台（1004）设置在装片间（16），所述镀前清洗机（12）后端与所述装片间（16）连通，所述出片室（1001）、出片旋转接送片台（1004）设置在卸片间（17），所述AF前清洗机（13）前端与所述卸片间（17）连通，所述装片间（16）与所述卸片间（17）之间设置有所述基片架回线台（18）。