[实用新型]点检装置及硅片检测分选设备有效
申请号: | 202121007717.0 | 申请日: | 2021-05-12 |
公开(公告)号: | CN216150401U | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 温延培;曹葵康;孙靖;顾烨;孙俊;苏傲;钱春辉;程璧;胡辉来;张体瑞 | 申请(专利权)人: | 苏州天准科技股份有限公司 |
主分类号: | B07C5/00 | 分类号: | B07C5/00;B07C5/04;B07C5/34;B07C5/344;B07C5/02;B07C5/38 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 马振华 |
地址: | 215163 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种点检装置及硅片检测分选设备,其中,点检装置包括:供料点检机构、收料点检机构以及若干检测机构;供料点检机构设置于若干检测机构的上游,收料点检机构设置于若干检测机构的下游。本实用新型的点检装置中,点检机构可设置于检测流线的上游端和下游端。如此,在硅片的检测、分选之前,可通过点检机构提供标准硅片,使标准硅片在上游位置流入各检测机构中,之后由下游的点检机构回收。从而,通过标准硅片的预先试运行,可提前排查可能出现的问题,克服现有技术中存在的反复停机调试的问题。 | ||
搜索关键词: | 点检 装置 硅片 检测 分选 设备 | ||
【主权项】:
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