[实用新型]点检装置及硅片检测分选设备

权利要求书

1.一种点检装置，其特征在于，所述点检装置包括：供料点检机构、收料点检机构以及若干检测机构；

所述供料点检机构设置于所述若干检测机构的上游，所述收料点检机构设置于所述若干检测机构的下游，所述供料点检机构包括：第一升降模组以及由所述第一升降模组驱动进行升降的第一料盒，所述第一料盒具有适于多个标准硅片自上而下排列放置的第一料腔；所述收料点检机构包括：第二升降模组以及由所述第二升降模组驱动进行升降的第二料盒，所述第二料盒具有适于多个标准硅片自上而下排列放置的第二料腔。

2.根据权利要求1所述的点检装置，其特征在于，所述第一升降模组为竖直设置的伺服电机，其滑块通过一料盒支架与所述第一料盒相连接。

3.根据权利要求1所述的点检装置，其特征在于，所述第一料盒包括：两相对设置的第一固定板，任一所述第一固定板的内侧还设置有第一插板，所述第一插板上开设有自上而下排列设置的插槽，两个第一插板上的插槽相对设置。

4.根据权利要求3所述的点检装置，其特征在于，所述若干检测机构沿一输送带间隔设置，所述第一插板分置于所述输送带的两侧。

5.根据权利要求1所述的点检装置，其特征在于，所述第二升降模组为竖直设置的伺服电机，其滑块通过一料盒支架与所述第二料盒相连接。

6.根据权利要求1所述的点检装置，其特征在于，所述第二料盒包括：两相对设置的第二固定板，任一所述第二固定板的内侧还设置有第二插板，所述第二插板上开设有自上而下排列设置的插槽，两个第二插板上的插槽相对设置。

7.根据权利要求1所述的点检装置，其特征在于，所述若干检测机构包括：左右崩边机构、厚度检测机构、电阻率测试机构、前后崩机构、尺寸检测机构、脏污检测机构、倒角崩边机构以及隐裂检测机构中的一种或者几种的组合。

8.一种硅片检测分选设备，其特征在于，所述硅片检测分选设备包括如权利要求1至7任一项所述的点检装置。