[实用新型]一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置有效
| 申请号： | 202121003037.1 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN215142932U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 黎荣林;王静辉;崔健;段磊;郭跃伟 | 申请（专利权）人： | 河北博威集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 河北智酷知创知识产权代理事务所(普通合伙) 13157 | 代理人： | 武哲 |
| 地址： | 050000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，涉及芯片清洗技术领域。一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，包括反应箱，所述反应箱的一侧固定连接有真空泵，所述反应箱的另一侧固定连接有反应气体泵和排压管，所述反应箱的内部安装有高频电源，所述反应箱的两边均铰接有活动机构，所述活动机构能够同步打开关闭反应箱的两侧，所述反应箱的内部安装有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆的外部活动螺接有转动台。本实用新型通过转动台、固定卡扣、转动电机和转动杆的设置，使得GaN微波芯片可以充分和等离子体相接触，缩短了处理时间，提升了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 gan 微波 芯片 等离子体 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北博威集成电路有限公司，未经河北博威集成电路有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121003037.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种O型圈组装机构
- 下一篇：一种蓝莓连续式波浪清洗机
