[实用新型]一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置

权利要求书

1.一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，包括反应箱(5)，其特征在于：所述反应箱(5)的一侧固定连接有真空泵(8)，所述反应箱(5)的另一侧固定连接有反应气体泵(10)和排压管(13)，所述反应箱(5)的内部安装有高频电源(11)，所述反应箱(5)的两边均铰接有活动机构(3)，所述活动机构(3)能够控制反应箱(5)两侧的闭合，所述反应箱(5)的内部安装有转动机构(12)，所述转动机构(12)包括转动电机(1201)，所述转动电机(1201)的输出端固定连接有转动杆(1205)，所述转动杆(1205)的外部活动螺接有转动台(1203)。

2.根据权利要求1所述的一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，其特征在于：所述转动电机(1201)的底部固定连接有支撑台(1202)，所述支撑台(1202)和反应箱(5)的底部相固定，所述反应箱(5)的底部固定连接有支撑柱(1204)，所述支撑柱(1204)的另一端和转动杆(1205)相铰接。

3.根据权利要求1所述的一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，其特征在于：所述活动机构(3)包括微型电机(305)，所述微型电机(305)的输出端固定连接有螺纹杆(304)，所述螺纹杆(304)的外部固定连接有推动板(303)，所述推动板(303)的两边均固定连接有活动臂(302)，所述活动臂(302)的另一端铰接有密封板(301)，所述密封板(301)的顶部固定连接有铰链(4)。

4.根据权利要求1所述的一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，其特征在于：所述反应箱(5)内壁的顶部固定连接有灯管(9)，所述灯管(9)的输入端固定连接有灯光电源(7)，所述灯光电源(7)和反应箱(5)的顶部相固定，所述反应箱(5)的一侧固定连接有控制面板(6)，所述反应箱(5)的底部固定连接有支撑底座(2)，所述支撑底座(2)底部的四边均固定连接有支撑脚(1)。

5.根据权利要求1所述的一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，其特征在于：所述转动台(1203)内开设有铰接孔，所述铰接孔设置有多个，所述铰接孔上铰接有固定卡扣(15)。

6.根据权利要求3所述的一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，其特征在于：所述密封板(301)内侧开设有滑动槽，所述活动臂(302)的顶部铰接有滑轮，所述密封板(301)和活动臂(302)通过滑动槽和滑轮相铰接。