[实用新型]一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，涉及芯片清洗技术领域。一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，包括反应箱，所述反应箱的一侧固定连接有真空泵，所述反应箱的另一侧固定连接有反应气体泵和排压管，所述反应箱的内部安装有高频电源，所述反应箱的两边均铰接有活动机构，所述活动机构能够同步打开关闭反应箱的两侧，所述反应箱的内部安装有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆的外部活动螺接有转动台。本实用新型通过转动台、固定卡扣、转动电机和转动杆的设置，使得GaN微波芯片可以充分和等离子体相接触，缩短了处理时间，提升了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及芯片清洗技术领域，具体为一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置。

背景技术

随着微电子工艺的发展，湿法清洗越来越局限，而干法清洗能够避免湿法清洗带来的环境污染，同时生产率也大大提高，而在干法清洗中优势明显是等离子清洗，等离子体清洗已逐步在半导体制造、微电子封装、精密机械等行业开始普遍应用。

传统方式的等离子体清洗装置在清洗GaN微波芯片时候，常常将需要清洗的GaN微波芯片放置在清洗板上，通常需要进行两次清理才能完成对GaN微波芯片的清理，为此提出了一种新型等离子清洗装置以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，包括反应箱，所述反应箱的一侧固定连接有真空泵，所述反应箱的另一侧固定连接有反应气体泵和排压管，所述反应箱的内部安装有高频电源，所述反应箱的两边均铰接有活动机构，所述活动机构能够控制反应箱两侧的闭合，所述反应箱的内部安装有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆的外部活动螺接有转动台。

优选的，所述转动电机的底部固定连接有支撑台，所述支撑台和反应箱的底部相固定，所述反应箱的底部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的另一端和转动杆相铰接。

优选的，所述活动机构包括微型电机，所述微型电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外部固定连接有推动板，所述推动板的两边均固定连接有活动臂，所述活动臂的另一端铰接有密封板，所述密封板的顶部固定连接有铰链。

优选的，所述反应箱内壁的顶部固定连接有灯管，所述灯管的输入端固定连接有灯光电源，所述灯光电源和反应箱的顶部相固定，所述反应箱的一侧固定连接有控制面板，所述反应箱的底部固定连接有支撑底座，所述支撑底座底部的四边均固定连接有支撑脚。

优选的，所述转动台内开设有铰接孔，所述铰接孔设置有多个，所述铰接孔上铰接有固定卡扣。

优选的，所述密封板内侧开设有滑动槽，所述活动臂的顶部铰接有滑轮，所述密封板和活动臂通过滑动槽和滑轮相铰接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、该GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，通过转动台、固定卡扣、转动电机和转动杆的设置，使得GaN微波芯片可以充分和等离子体相接触，缩短了处理时间，提升了工作效率。

(2)、该GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，通过活动臂、推动板、螺纹杆和微型电机的设置，使得在处理GaN微波芯片时，可以自动开关闭合反应箱两侧，使得反应箱内部密封，降低了操作时的劳动强度，提升了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的内部局部放大结构示意图；

图2为本实用新型的等轴侧结构示意图；

图3为本实用新型的转动机构局部放大结构示意图；