[实用新型]一种制造透射电镜样品的设备有效

专利信息
申请号: 202120928493.0 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN215640954U 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 朱建雷;董潇婉;邓超;高磊;王梓衡;商昭;白海强;钟黎声 申请(专利权)人: 咸阳职业技术学院;西安理工大学
主分类号: G01N23/02 分类号: G01N23/02;G01N23/20008;G01N1/28
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 涂秀清
地址: 710021 陕西省咸阳*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种制造透射电镜样品的设备,包括底座,底座上设置有多级磨样盘,多级磨样盘相对两侧设置有X轴运动机构,X轴运动机构上设置有Y轴运动机构,Y轴运动机构上设置有Z轴运动机构,Z轴运动机构上安装有夹持机构和激光测距传感器,X轴运动机构1、Y轴运动机构2和Z轴运动机构3均各连接有伺服电机,所述伺服电机和激光测距传感器4都连接在控制器上,采用本实用新型制造透射电镜样品的设备制得的透射样品尺寸精度较高。
搜索关键词: 一种 制造 透射 样品 设备
【主权项】:
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