[实用新型]一种制造透射电镜样品的设备

说明书

本实用新型公开了一种制造透射电镜样品的设备，包括底座，底座上设置有多级磨样盘，多级磨样盘相对两侧设置有X轴运动机构，X轴运动机构上设置有Y轴运动机构，Y轴运动机构上设置有Z轴运动机构，Z轴运动机构上安装有夹持机构和激光测距传感器，X轴运动机构1、Y轴运动机构2和Z轴运动机构3均各连接有伺服电机，所述伺服电机和激光测距传感器4都连接在控制器上，采用本实用新型制造透射电镜样品的设备制得的透射样品尺寸精度较高。

技术领域

本实用新型属于减薄机械设备技术领域，涉及一种制造透射电镜样品的设备。

背景技术

透射电镜样品的制备是电子显微学研究中重要的步骤，透射电镜样品制备一般分两步，第一步是机械磨制，将待观察的试样按预定取向切割成约200μm-500μm的薄片，再经机械减薄至30-50μm；第二步是根据材料和仪器的要求的不同，根据试样特征需选择适当的制备方法进一步减薄，如双喷减薄法和离子减薄法等。

目前的机械减薄方法是手动研磨法，手动研磨法通常由人工按照金相砂纸型号从小到大依次进行研磨减薄和测量，以确定样品厚度。但是这种方法却存在诸多问题，如磨样时施加的力不均匀而使得试样发生偏磨，易造成样品厚度不均的现象而导致样品报废，且人工减薄法制备透射样品耗时耗力，存在成功率低、所得薄片尺寸精度差等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种制造透射电镜样品的设备，解决了现有样品减薄设备制得的薄片尺寸精度差，难以制备出微米级厚度透射样品的问题。

本实用新型采用的技术方案是，一种制造透射电镜样品的设备，包括底座，底座上设置有多级磨样盘，多级磨样盘相对两侧设置有X轴运动机构，X轴运动机构上设置有Y轴运动机构，Y轴运动机构上设置有Z轴运动机构，Z轴运动机构上安装有夹持机构和激光测距传感器，X轴运动机构、Y轴运动机构和Z轴运动机构均各连接有伺服电机，所述伺服电机和激光测距传感器都连接在控制器上。

本实用新型的技术特征还在于，多级磨样盘包括至少两个不同目数的磨盘，多级磨样盘中磨盘呈“一”字形排列在底座顶面上。

X轴运动机构包括滚珠丝杠，滚珠丝杠包括螺杆和螺母，螺杆连接有伺服电机，螺母与Y轴运动机构通过螺钉连接。

X轴运动机构包括相对设置的两幅滚珠丝杠。

X轴运动机构包括与螺杆平行设置的滑轨，滑轨上套设有滑块，滑块与Y轴运动机构通过螺钉连接。

Y轴运动机构包括相配合的丝杠导轨A和丝杠滑台A，丝杠滑台A与Z轴运动机构通过螺钉连接。

Z轴运动机构包括竖直的丝杠导轨B和丝杠滑台B，丝杠滑台B套设在丝杠导轨B上，与丝杠导轨B上螺纹相互啮合，激光测距传感器和夹持机构都安装在丝杠滑台B上。

夹持机构安装在丝杠滑台B底面上，激光测距传感器高于夹持机构。

Z轴运动机构包括侧板，侧板上下两端均设置有安装丝杠导轨B的安装座，夹持机构底部低于侧板下端安装座底面，激光测距传感器安装在丝杠滑台B远离侧板的侧面上。

本实用新型的有益效果是，采用X轴运动机构、Y轴运动机构、Z轴运动机构、多级磨样盘、夹持机构和激光测距传感器组成全自动透射样品减薄设备，能够实时监测样品的厚度，根据样品实时厚度和目标厚度控制样品的运动轨迹，提高了样品减薄效率，也提高了样品减薄精度，结构简单，占用空间小，拆装方便，实用性高，采用该全自动透射样品减薄设备可制得各种厚度的透射样品，操作简单，精度较高。

附图说明

图1是本实用新型一种制造透射电镜样品的设备的立体结构示意图；

图2是本实用新型一种制造透射电镜样品的设备的平面结构示意图；

图3是本实用新型一种制造透射电镜样品的设备的俯视结构示意图；