[实用新型]一种制造透射电镜样品的设备

权利要求书

1.一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，包括底座(8)，底座(8)上设置有多级磨样盘(9)，多级磨样盘(9)相对两侧设置有X轴运动机构(1)，X轴运动机构(1)上设置有Y轴运动机构(2)，Y轴运动机构(2)上设置有Z轴运动机构(3)，Z轴运动机构(3)上安装有夹持机构(7)和激光测距传感器(4)，X轴运动机构(1)、Y轴运动机构(2)和Z轴运动机构(3)均各连接有伺服电机，所述伺服电机和激光测距传感器(4)都连接在控制器上。

2.根据权利要求1所述的一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，所述多级磨样盘(9)包括至少两个不同目数的磨盘，多级磨样盘中磨盘呈“一”字形排列在底座(8)顶面上。

3.根据权利要求1所述的一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，所述X轴运动机构(1)包括滚珠丝杠(11)，滚珠丝杠(11)包括螺杆(111)和螺母(112)，螺杆(111)连接有伺服电机，螺母(112)与Y轴运动机构(2)通过螺钉连接。

4.根据权利要求3所述的一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，所述X轴运动机构(1)包括相对设置的两幅滚珠丝杠(11)。

5.根据权利要求3所述的一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，所述X轴运动机构(1)包括与螺杆(111)平行设置的滑轨(5)，滑轨(5)上套设有滑块(6)，滑块(6)与Y轴运动机构(2)通过螺钉连接。

6.根据权利要求4或5所述的一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，所述Y轴运动机构(2)包括相配合的丝杠导轨A(21)和丝杠滑台A(22)，丝杠滑台A(22)与Z轴运动机构(3)通过螺钉连接。

7.根据权利要求6所述的一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，所述Z轴运动机构(3)包括竖直的丝杠导轨B(31)和丝杠滑台B(32)，丝杠滑台B(32)套设在丝杠导轨B(31)上，与丝杠导轨B(31)上螺纹相互啮合，激光测距传感器(4)和夹持机构(7)都安装在丝杠滑台B(32)上。

8.根据权利要求7所述的一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，所述夹持机构(7)安装在丝杠滑台B(32)底面上，激光测距传感器(4)高于夹持机构(7)。

9.根据权利要求7所述的一种制造透射电镜样品的设备，其特征在于，所述Z轴运动机构(3)包括侧板(33)，侧板(33)上下两端均设置有安装丝杠导轨B(31)的安装座(34)，夹持机构(7)底部低于侧板(33)下端的安装座(34)底面。