[实用新型]一种用于无掩膜曝光的照明结构有效
| 申请号： | 202120901890.9 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN215297942U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 桂立 | 申请（专利权）人： | 苏州赛源光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 葛燕婷 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于无掩膜曝光的照明结构，包括DMD窗口、准直透镜组、汇聚透镜、第一反射镜以及第二反射镜，准直透镜组包括若干在一条直线上依次设置的准直透镜，第一反射镜位于准直透镜组与汇聚透镜之间使经过准直透镜组的光反射至汇聚透镜，第二反射镜位于汇聚透镜与DMD窗口之间使经过汇聚透镜的光反射至DMD窗口的DMD芯片上，本实用新型用于无掩膜曝光的照明结构通过第一反射镜以及第二反射镜折叠光路，使无掩膜曝光的照明结构整体结构紧凑，利于曝光机小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 无掩膜 曝光 照明 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州赛源光学科技有限公司，未经苏州赛源光学科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120901890.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种曝光镜头的倍率调节结构
- 下一篇：自来水冷源空调系统
