[实用新型]一种基于MOCVD设备的金属有机源输送管道系统

摘要

本实用新型公开了一种基于MOCVD设备的金属有机源输送管道系统，包括与MOCVD设备上配备的多个金属有机源存储装置一一对应布置的输送管道，每个输送管道分别用于将其对应的一个金属有机源存储装置的出口单独连接至MOCVD设备的反应室，且每个输送管道上均设置有第一开闭阀门。在实际应用过程中，由于各个输送管道与反应室单独连接，继而各个输送管道在每次使用时仅流经携带有同一种金属有机源的载气，相比于传统的金属有机源存储装置共用传输管道的方式，避免了输送管道内残留上次使用的载气所携带的金属有机源导致管道交叉污染的问题。