[实用新型]晶圆固定夹具

摘要

本实用新型涉及晶圆夹具领域，尤其是晶圆固定夹具。该夹具包括夹具底板、上盖板、导电圈、导线固定槽、导电圈固定环，所述夹具底板上设有用于暴露晶圆的圆孔，夹具底板上设有环形槽,环形槽内设有圆孔，导电圈固定在环形槽内，夹具底板上设有用于穿过导线的导线固定槽，环形槽上分布有数个U形槽，U形槽与导线固定槽相连通，夹具底板上可拆卸的固定连接有上盖板，导电圈固定环上分布有数个用于顶住导线与导电圈连接处的顶丝。本实用新型通过导线固定槽来放置导线，导电圈固定环来压紧导电圈及导线的连接处。通过可拆卸的上盖板将晶圆压紧在夹具底板的环形槽内。通过夹具底板上的圆孔来露出晶圆。本申请提高了晶圆的安装效率。