[实用新型]晶圆固定夹具有效

申请号：	202120819406.8	申请日：	2021-04-21
公开（公告）号：	CN214411164U	公开（公告）日：	2021-10-15
发明（设计）人：	王健;陈云利;李军;刘斌	申请（专利权）人：	苏州尊恒半导体科技有限公司
主分类号：	H01L21/687	分类号：	H01L21/687
代理公司：	苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32533	代理人：	赵艾亮
地址：	215316 江苏省苏***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	固定夹具
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【权利要求书】：

1.一种晶圆固定夹具，其特征在于：包括夹具底板(1)、上盖板(2)、导电圈(3)、导线固定槽(4)、导电圈固定环(5)，所述夹具底板(1)上设有用于暴露晶圆的圆孔(6)，夹具底板(1)上设有环形槽(7),环形槽(7)内设有圆孔(6)，导电圈(3)固定在环形槽(7)内，夹具底板(1)上设有用于穿过导线的导线固定槽(4)，环形槽(7)上分布有数个U形槽(8)，U形槽(8)与导线固定槽(4)相连通，夹具底板(1)上可拆卸的固定连接有上盖板(2)，导电圈固定环(5)上分布有数个用于顶住导线与导电圈(3)连接处的顶丝(9)，导电圈固定环(5)固定连接在环形槽(7)上。

2.根据权利要求1所述的晶圆固定夹具，其特征在于：所述导电圈(3)为环状体，导电圈(3)上有包胶，包胶上设有露出导电圈(3)的环状槽。

3.根据权利要求1所述的晶圆固定夹具，其特征在于：所述夹具底板(1)上固定有铜钩(10)，铜钩(10)与导线固定槽(4)内的导线相连。

4.根据权利要求1所述的晶圆固定夹具，其特征在于：所述夹具底板(1)两侧分别设有用于配合电镀槽内导向槽的斜面。

5.根据权利要求1所述的晶圆固定夹具，其特征在于：所述夹具底板(1)通过螺丝与上盖板(2)固定连接在一起。

6.根据权利要求1所述的晶圆固定夹具，其特征在于：所述导电圈固定环(5)通过螺丝固定连接在环形槽(7)上。

7.根据权利要求1所述的晶圆固定夹具，其特征在于：所述夹具底板(1)上设有限位销，上盖板(2)上设有用于穿过限位销的销孔。

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