[实用新型]一种坩埚夹持装置有效
| 申请号： | 202120780540.1 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN214572358U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 郭德华;苏丽娜;刘圆圆;周敏;赵吉强 | 申请（专利权）人： | 上海天岳半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 冯妙娜 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种坩埚夹持装置，属于半导体技术领域。该坩埚夹持装置包括：提升组件，所述提升组件包括升降台和驱动机构，所述驱动机构通过连接轴与升降台连接；夹持组件，所述夹持组件包括环形轴和若干个夹持臂，每个所述夹持臂的固定端均与所述升降台转动连接，每个所述夹持臂上设置有环形轴穿过的轴孔若干个所述夹持臂的自由端相互配合，用于夹持坩埚；所述升降台运动带动每个所述夹持臂的固定端与所述升降台发生相对转动，以带动每个所述夹持臂的自由端靠近或远离所述坩埚。该坩埚夹持装置使操作者单手夹持不同尺寸的坩埚，实现对高温坩埚的取放，此外，可避免人工直接接触坩埚而对坩埚造成污染，大大提高了生产效率，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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