[实用新型]一种坩埚夹持装置

说明书

本申请公开了一种坩埚夹持装置，属于半导体技术领域。该坩埚夹持装置包括：提升组件，所述提升组件包括升降台和驱动机构，所述驱动机构通过连接轴与升降台连接；夹持组件，所述夹持组件包括环形轴和若干个夹持臂，每个所述夹持臂的固定端均与所述升降台转动连接，每个所述夹持臂上设置有环形轴穿过的轴孔若干个所述夹持臂的自由端相互配合，用于夹持坩埚；所述升降台运动带动每个所述夹持臂的固定端与所述升降台发生相对转动，以带动每个所述夹持臂的自由端靠近或远离所述坩埚。该坩埚夹持装置使操作者单手夹持不同尺寸的坩埚，实现对高温坩埚的取放，此外，可避免人工直接接触坩埚而对坩埚造成污染，大大提高了生产效率，节约了生产成本。

技术领域

本申请涉及一种坩埚夹持装置，属于半导体技术领域。

背景技术

随着5G通讯、新能源汽车等产业的迅猛发展对功率电子器件的需求不断增加，第三代半导体材料，因具有宽禁带、高热导率、高临界击穿场强及高饱和电子漂移速率等优异的物理性能而备受关注。目前，物理气相沉积技术(PVT)是生长半导体晶体的常用方法，主要是将装有原料的坩埚放置在长晶炉内进行长晶。

当长晶过程完成后，需要将坩埚从长晶炉内取出，后续在长晶炉内再放入另外装有原料的坩埚放入用于晶体的生长。目前，主要依靠人工佩戴手套取放坩埚。然而，随着坩埚尺寸的增大，单手难以完成坩埚的搬运工作；此外，当坩埚温度较高时，人工难以完成坩埚的拿取工作；且手套的频繁更换严重影响了生产效率，浪费了大量的人力物力。

实用新型内容

为了解决上述问题，本申请提出了一种坩埚夹持装置，通过夹持组件夹持坩埚，避免了人工直接接触坩埚而对坩埚造成污染，可实现对高温坩埚的取放，大大提高了生产效率，节约了生产成本。

根据本申请的一个方面，提供了一种坩埚夹持装置，其包括：

提升组件，所述提升组件包括升降台和驱动机构，所述驱动机构通过连接轴与升降台连接；

夹持组件，所述夹持组件包括环形轴和若干个夹持臂，每个所述夹持臂的固定端均与所述升降台转动连接，每个所述夹持臂上设置有环形轴穿过的轴孔若干个所述夹持臂的自由端相互配合，用于夹持坩埚；

所述升降台运动带动每个所述夹持臂的固定端与所述升降台发生相对转动，以带动每个所述夹持臂的自由端靠近或远离所述坩埚。

可选地，每个所述夹持臂均包括依次相连的第一连接段和第二连接段，所述第一连接段和第二连接段之间的角度为75°-105°；和/或

所述第一连接段和第二连接段通过连接环相连，所述连接环套设在所述环形轴上，并与所述环形轴转动连接。

可选地，所述第一连接段的一端与所述升降台转动连接，另一端通过伸缩件与所述第二连接段相连。

可选地，所述夹持组件还包括若干个限位轴套，每个所述限位轴套分别设置在相邻的所述夹持臂之间，并套设在所述环形轴上。

可选地，所述环形轴的外侧连接有支撑杆，所述支撑杆远离所述环形轴的一端连接有连接块，所述连接块上滑动连接有承托板，所述承托板用于承托所述坩埚的底部。

可选地，所述支撑杆包括第三连接段和第四连接段，所述第三连接段套设在所述第四连接段内部，并与所述第四连接段相互配合以调节所述支撑杆的长度。

可选地，所述连接轴为丝杠，所述升降台的中心处开设有连接孔，所述连接孔设置有螺纹，所述丝杠与所述连接孔螺旋传动配合。

可选地，每个所述夹持臂的自由端均连接有夹持板，所述夹持板与所述夹持臂转动连接。

可选地，所述夹持板为与所述坩埚外壁适配的弧形结构；和/或

所述夹持板与所述坩埚接触的一侧设置有若干横状条纹。