[实用新型]一种坩埚夹持装置有效

专利信息
申请号: 202120780540.1 申请日: 2021-04-16
公开(公告)号: CN214572358U 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 郭德华;苏丽娜;刘圆圆;周敏;赵吉强 申请(专利权)人: 上海天岳半导体材料有限公司
主分类号: C30B23/00 分类号: C30B23/00
代理公司: 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 代理人: 冯妙娜
地址: 201306 上海市浦东新区中国(上海)*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 坩埚 夹持 装置
【权利要求书】:

1.一种坩埚夹持装置,其特征在于,包括:

提升组件,所述提升组件包括升降台和驱动机构,所述驱动机构通过连接轴与升降台连接;

夹持组件,所述夹持组件包括环形轴和若干个夹持臂,每个所述夹持臂的固定端均与所述升降台转动连接,每个所述夹持臂上设置有环形轴穿过的轴孔若干个所述夹持臂的自由端相互配合,用于夹持坩埚;

所述升降台运动带动每个所述夹持臂的固定端与所述升降台发生相对转动,以带动每个所述夹持臂的自由端靠近或远离所述坩埚。

2.根据权利要求1所述的坩埚夹持装置,其特征在于,每个所述夹持臂均包括依次相连的第一连接段和第二连接段,所述第一连接段和第二连接段之间的角度为75°-105°;和/或

所述第一连接段和第二连接段通过连接环相连,所述连接环套设在所述环形轴上,并与所述环形轴转动连接。

3.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述第一连接段的一端与所述升降台转动连接,另一端通过伸缩件与所述第二连接段相连。

4.根据权利要求2所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述夹持组件还包括若干个限位轴套,每个所述限位轴套分别设置在相邻的所述夹持臂之间,并套设在所述环形轴上。

5.根据权利要求1-4任一项所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述环形轴的外侧连接有支撑杆,所述支撑杆远离所述环形轴的一端连接有连接块,所述连接块上滑动连接有承托板,所述承托板用于承托所述坩埚的底部。

6.根据权利要求5所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述支撑杆包括第三连接段和第四连接段,所述第三连接段套设在所述第四连接段内部,并与所述第四连接段相互配合以调节所述支撑杆的长度。

7.根据权利要求1-4任一项所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述连接轴为丝杠,所述升降台的中心处开设有连接孔,所述连接孔设置有螺纹,所述丝杠与所述连接孔螺旋传动配合。

8.根据权利要求1-4任一项所述的坩埚夹持装置,其特征在于,每个所述夹持臂的自由端均连接有夹持板,所述夹持板与所述夹持臂转动连接。

9.根据权利要求8所述的坩埚夹持装置,其特征在于,所述夹持板为与所述坩埚外壁适配的弧形结构;和/或

所述夹持板与所述坩埚接触的一侧设置有若干横状条纹。

10.根据权利要求1-4任一项所述的坩埚夹持装置,其特征在于,还包括机架,所述机架包括固定板和握持部,所述驱动机构安装在所述固定板上,所述握持部设置在远离夹持组件的一侧,并与所述固定板形成空腔结构;和/或

所述握持部内侧设置有若干弧形凹部。

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