[实用新型]一种固态前驱体封装容器有效

专利信息
申请号: 202120769271.9 申请日: 2021-04-15
公开(公告)号: CN215050681U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 闫其昂;杨敏;沈斌;徐耀中;万欣 申请(专利权)人: 江苏南大光电材料股份有限公司
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448
代理公司: 苏州新知行知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32414 代理人: 马素琴
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请提供一种固态前驱体封装容器,包括瓶体、瓶盖、进气管和出气管,所述瓶盖具有腔体,所述进气管连通所述腔体,且所述腔体的腔体壁上具有多个气孔,所述气孔连通所述瓶盖的腔体和所述瓶体的内腔。通过腔体壁上的多个气孔,可以将载气更加均匀的输入至瓶体的内腔中,从而增加载气输入的均匀性,有效抑制使用单根进气管管口直接连通瓶体内腔时,导致瓶体内腔中不同区域的固态前驱体被消耗程度差异较大的问题,增加固态前驱体的蒸气压稳定性。
搜索关键词: 一种 固态 前驱 封装 容器
【主权项】:
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