[实用新型]一种固态前驱体封装容器

权利要求书

1.一种固态前驱体封装容器，包括瓶体、瓶盖、进气管和出气管，其特征在于，所述瓶盖具有腔体，所述进气管连通所述腔体，且所述腔体的腔体壁上具有多个气孔，所述气孔连通所述瓶盖的腔体和所述瓶体的内腔。

2.根据权利要求1所述的固态前驱体封装容器，其特征在于，所述气孔的入口孔的面积大于出口孔的面积。

3.根据权利要求1所述的固态前驱体封装容器，其特征在于，所述气孔设置在腔体的底部。

4.根据权利要求3所述的固态前驱体封装容器，其特征在于，所述入口孔的面积与所述出口孔的面积之差随着距离所述瓶盖中心的距离增大而增大。

5.根据权利要求1所述的固态前驱体封装容器，其特征在于，所述入口孔一侧的孔深度随着距离所述瓶盖中心的距离增大而变深。

6.根据权利要求1所述的固态前驱体封装容器，其特征在于，正对所述进气管管口的方向上，所述腔体底部的腔体壁上具有凹槽。

7.根据权利要求1所述的固态前驱体封装容器，其特征在于，所述出气管的管口位于所述内腔的底部。

8.根据权利要求1所述的固态前驱体封装容器，其特征在于，所述进气管和所述出气管上分别带有一个隔膜阀和一个VCR接口。