[实用新型]一种适用于晶圆校准的夹持装置

摘要

本实用新型涉及一种适用于晶圆校准的夹持装置，其包括具有晶圆夹持区的夹座、设置在晶圆夹持区内并能够沿着晶圆径向收拢或张开的夹持单元、及驱动夹持单元绕晶圆夹持区的中心转动的驱动单元，其中夹持单元包括绕着晶圆夹持区的中心分布的多个夹块、及用于驱动多个夹块运动的动力部件，多个夹块划分为两组夹块组，动力部件分别驱动两组夹块组收拢或张开，且当一组夹块组中的多个夹块相对收拢并夹紧晶圆时，另一组夹块组中的多个夹块相对张开设置。本实用新型通过两组夹块组分别对晶圆进行夹持，改变夹块在晶圆表面的夹持位置，这样一来，晶圆在转动时，晶圆边缘处全部都能被检测到，避免遗漏，提高晶圆校准的准确度。