[实用新型]一种测量镭射距离的装置

摘要

本实用新型提供一种测量镭射距离的装置，用以测量镭射制程工艺中字符离硅晶圆平边，V型槽，圆弧顶点的距离以及字符串的总长度。该装置包括测量平台，纵向滑块，左右侧滑板；测量平台分为4‑6寸方形区域和8寸圆形区域，两侧有两条滑行轨道用来保证纵向滑块的稳定垂直移动；纵向滑块通过倒T型滑脚镶嵌在测量平台的滑行轨道中起到稳固作用，有两个靠近的平行T型滑行轨道用以固定左右侧滑板；左右侧滑板通过倒T型脚柱滑脚及滑脚镶嵌在纵向滑块的滑行轨道中起到稳固移动的作用。左右侧滑板有便于移动的移动把手，及固定卡尺的左脚固定空及卡尺右脚固定空，在测量无参照物且测量距离大于显微镜最大量程的情况下，此装置可以精确测量到0.01mm的精确度。