[实用新型]一种测量镭射距离的装置有效
| 申请号： | 202120756197.7 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN215261539U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李汉生;蔡雪良;陆义;吴凯 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215316 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 镭射 距离 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种测量镭射距离的装置，用以测量镭射制程工艺中字符离硅晶圆平边，V型槽，圆弧顶点的距离以及字符串的总长度，其特征在于，所述装置包括：测量平台，放置需测量的硅晶片；两滑行轨道，配置于所述测量平台的两侧；可移动的纵向滑块，配置于所述测量平台滑行轨道的上方，用以稳定地垂直滑动及固定左右侧滑块；左右侧滑板，用于移动确定测量边界及固定卡尺。
2.如权利要求1所述的一种测量镭射距离的装置，其特征在于，所述装置有一测量平台，用以放置并定位需测量的硅晶片，有两个分布在两侧平行的T型槽式的滑行轨道。
3.如权利要求1所述的一种测量镭射距离的装置，其特征在于，在测量平台有V槽及平边的定位机构，确保测量的准确度。
4.如权利要求1所述的一种测量镭射距离的装置，其特征在于，所述装置有一个纵向滑块，两侧有倒T型嵌入机构，纵向滑块为整体结构。
5.如权利要求1所述的一种测量镭射距离的装置，其特征在于所述装置中左右侧滑板都有倒T型嵌入装置，有固定卡尺的孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山中辰矽晶有限公司，未经昆山中辰矽晶有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120756197.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：空气炸锅的可调温控器结构
- 下一篇：一种具有自动清洁镜头功能的智能测速仪
