[实用新型]一种单晶提拉炉有效
| 申请号： | 202120754817.3 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN214881925U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张春林 | 申请（专利权）人： | 天津物科光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 胡林 |
| 地址： | 300000 天津市北辰区天津北辰经济技术*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶提拉炉，包括炉体，炉体内设置连通的上炉腔和下炉腔，上炉腔内设有提拉杆，提拉杆的下端通过夹持器安装有籽晶，下炉腔内设有支撑台，支撑台上设有热场组件和坩埚，热场组件包括导热座、电磁感应线圈、加热盘和保温套，导热座安装于支撑台上，导热座的上部设有坩埚安装槽，坩埚适配于坩埚安装槽内，导热座的上部围绕坩埚安装槽外设置有环形凹槽，电磁感应线圈容置于环形凹槽内，加热盘安装于坩埚安装槽下方的导热座内，保温套套设于导热座外。本实用新型解决了现有的单晶提拉炉融化晶体原料过程中加热速度慢，提拉晶体过程中热场温度不稳定影响晶体的无缺陷生长的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶提拉炉 | ||
【主权项】：
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