[实用新型]一种单晶提拉炉

权利要求书

1.一种单晶提拉炉，包括炉体，所述炉体内设置连通的上炉腔和下炉腔，所述上炉腔内设有提拉杆，所述提拉杆的下端通过夹持器安装有籽晶，所述下炉腔内设有支撑台，所述支撑台上设有热场组件和坩埚，其特征在于：

所述热场组件包括导热座、电磁感应线圈、加热盘和保温套，所述导热座安装于所述支撑台上，导热座的上部设有坩埚安装槽，所述坩埚适配于所述坩埚安装槽内，导热座的上部围绕所述坩埚安装槽外设置有环形凹槽，所述电磁感应线圈容置于所述环形凹槽内，所述加热盘安装于所述坩埚安装槽下方的导热座内，所述保温套套设于所述导热座外。

2.根据权利要求1所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述支撑台上设置有凸台，凸台的周围形成环形台阶，所述导热座置于所述凸台上，所述保温套的下端抵在所述环形台阶上并套在所述凸台外。

3.根据权利要求1所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述电磁感应线圈的上端的四周连接有四个绝缘支架，各所述绝缘支架的靠近外端设置有第一条形孔，所述下炉腔的内壁上设置有四个与各绝缘支架一一对应的连接耳，各所述连接耳上设置有与对应绝缘支架上的第一条形孔垂直的第二条形孔，各所述绝缘支架与对应的各连接耳之间通过穿过第一条形孔和第二条形孔的螺栓固定。

4.根据权利要求1所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述导热座采用绝缘陶瓷。

5.根据权利要求1所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述加热盘采用电热丝或石墨加热盘。

6.根据权利要求1所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述保温套采用保温棉。

7.根据权利要求1所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述炉体的上部设有连通所述上炉腔的进气口，所述炉体的下部设有连通所述下炉腔的排气口。

8.根据权利要求7所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述坩埚的上方设置有锥形导流筒，所述锥形导流筒的上端设有外沿，所述下炉腔上部的内壁上设置有环形支撑板，所述锥形导流筒的外沿支撑于所述环形支撑板上。

9.根据权利要求1所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述炉体的顶部设置有用于驱动所述提拉杆旋转升降的第一驱动器。

10.根据权利要求1所述的单晶提拉炉，其特征在于：

所述炉体的底部安装有转轴，所述支撑台固定于所述转轴上，炉体的底部设置有用于驱动所述转轴转动的第二驱动器。