[实用新型]一种半导体器件双面检测用定位调节装置

摘要

本实用新型涉及半导体测试技术领域，公开了一种半导体器件双面检测用定位调节装置，包括可调底座、设置在可调底座上的旋转台以及设置在旋转台上的丝杆夹持机构，所述丝杆夹持机构包括安装板、丝杆、安装台、滑轨和移动支撑座，所述安装板固定在旋转台上，所述安装台有两个且对称设置在安装板长度方向的两端，所述丝杆的两端分别与安装台转动连接，所述丝杆上设有螺纹方向相反的螺纹段，所述滑轨有两条且二者沿着安装板的长度方向对称设置；本实用新型提供的一种半导体器件双面检测用定位调节装置，解决了现有双面探针台用的样品定位夹具其操作麻烦以及对样品位置调节的灵活性还有待提升的问题。