[实用新型]一种探针台真空腔装置有效
| 申请号： | 202120720298.9 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN215263607U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陆冰彬 | 申请（专利权）人： | 英铂科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 戚红 |
| 地址： | 200000 上海市松江区石湖*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体测试技术领域，公开了一种探针台真空腔装置，包括真空腔体以及与真空腔体连通的抽真空管道，真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，外腔体和内腔体之间为保温腔，外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，内腔体内设有载物台，载物台的高度与探测孔的高度相适应，载物台上设有加热模块和温度传感器，载物台内设有冷源循环通道，冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部；本实用新型提供的一种探针台真空腔装置，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 空腔 装置 | ||
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