[实用新型]一种探针台真空腔装置

权利要求书

1.一种探针台真空腔装置，其特征在于：包括真空腔体以及与真空腔体连通的抽真空管道，所述真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，所述外腔体和内腔体之间为保温腔，所述外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，所述内腔体内设有载物台，所述载物台的高度与探测孔的高度相适应，所述载物台上设有加热模块和温度传感器，所述载物台内设有冷源循环通道，所述冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部。

2.根据权利要求1所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述内腔体的内底壁上设有支撑柱，所述载物台安装在支撑柱的上端。

3.根据权利要求1所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述内腔体的内底壁内设有冷源连通道，所述冷源循环通道的出口端通过第一管道与冷源连通道的入口端连接，所述冷源连通道的出口端通过第二管道连接至真空腔体的外部。

4.根据权利要求3所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述内腔体内设有连接管，所述连接管的一端为封堵端，该连接管的另一端为连接端，所述第二管道与连接管连通，所述冷源循环通道的入口端连接有冷源进入管道，所述冷源进入管道穿过连接管的外壁并沿着连接管的长度方向向连接端延伸并伸出连接端。

5.根据权利要求4所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述连接端设有连接法兰。

6.根据权利要求1所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述抽真空管道设置在外腔体的底部。

7.根据权利要求1所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述外探测孔处设有与外部密封管道连接的延伸管，所述延伸管的端部设有连接法兰。

8.根据权利要求1所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述外腔体的上端设有密封盖，所述密封盖上设有观察窗，所述内腔体的上端设有与观察窗对应的观察口。

9.根据权利要求1所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述外腔体和内腔体上还分别设有外开口和内开口，所述冷源进入管道的接口通过管道自内开口和外开口引出。

10.根据权利要求9所述的一种探针台真空腔装置，其特征在于：所述外开口处设有引出管，所述引出管上设有连接法兰。