[实用新型]一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具有效
| 申请号： | 202120706847.7 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN215003472U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 王洁 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，感测头安装治具分为量测仪安装区域和治具安装区域；量测仪安装区域上设置有与量测仪适配的多个第一孔，且第一孔置于量测仪的连接机构上；治具安装区域上设置有多个第二孔；高度调整治具上设置有第四孔和第三孔组，每组第三孔组中包括多个第三孔，多个第三孔以行阵列排布；多组第三孔组对称设置于第四孔两侧；置于第四孔一侧的第三孔组与第二孔对应；机台定位治具与高度调整治具形成“T”子字型结构；机台定位治具侧面设置有第五孔，第四孔与第五孔螺纹连接；机台定位治具上还阵列设置有第六孔。一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具的设置可以有效改善玻璃基板在载物台上的形变量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 光学 平坦 度量 安装 | ||
【主权项】：
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