[实用新型]一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具

说明书

本实用新型公开一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，感测头安装治具分为量测仪安装区域和治具安装区域；量测仪安装区域上设置有与量测仪适配的多个第一孔，且第一孔置于量测仪的连接机构上；治具安装区域上设置有多个第二孔；高度调整治具上设置有第四孔和第三孔组，每组第三孔组中包括多个第三孔，多个第三孔以行阵列排布；多组第三孔组对称设置于第四孔两侧；置于第四孔一侧的第三孔组与第二孔对应；机台定位治具与高度调整治具形成“T”子字型结构；机台定位治具侧面设置有第五孔，第四孔与第五孔螺纹连接；机台定位治具上还阵列设置有第六孔。一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具的设置可以有效改善玻璃基板在载物台上的形变量。

技术领域

本实用新型涉及曝光机设备领域，尤其涉及一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具。

背景技术

曝光机长时间运行，载物台平坦度受应力影响发生不同程度的形变，影响玻璃基板在载物台的形变量变大，超出机台制程规格范围，影响ID标记精度下降，同时造成ID散焦，无法正常读取。需外接非接触式光学平坦度量测仪进行平坦度确认再进行调整，此设备是无法直接安装在设备上。

实用新型内容

为此，需要提供一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，使非接触式光学平坦度量测仪可安装在设备进行计测调整。

为实现上述目的，本申请提供了一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，包括：感测头安装治具、高度调整治具和机台定位治具；

所述感测头安装治具分为量测仪安装区域和治具安装区域；所述量测仪安装区域上设置有与量测仪适配的多个第一孔，且所述第一孔置于量测仪上的安装区域；所述治具安装区域上设置有多个第二孔，所述第二孔为条形，且多个所述第二孔相互平行；

所述高度调整治具上设置有第四孔和第三孔组，所述第三孔组为多组，每组第三孔组中包括多个第三孔，且多个所述第三孔以行阵列排布；所述第四孔置于所述高度调整治具中部，且多组所述第三孔组对称设置于所述第四孔两侧；置于所述第四孔一侧的所述第三孔组与所述第二孔对应，且量测仪上的连接机构穿过所述第二孔并与所述第三孔组连接；

所述机台定位治具置于所述高度调整治具远离所述感测头安装治具的一侧，所述机台定位治具与所述高度调整治具形成“T”子字型结构；所述机台定位治具侧面设置有第五孔，所述第五孔内壁上设置有螺纹，所述第五孔与所述第四孔对应，所述第四孔与所述第五孔螺纹连接；所述机台定位治具上还阵列设置有第六孔，所述第六孔的中线在空间上与所述第五孔的中线垂直。

进一步地，所述第四孔为沉孔。

进一步地，所述感测头安装治具的厚度小于所述高度调整治具的厚度；所述高度调整治具的厚度小于所述机台定位治具的厚度。

进一步地，所述第二孔为腰圆形孔。

进一步地，所述第二孔为两个，且所述第四孔一侧设置有两组所述第三孔组。

进一步地，所述第一孔、第二孔、第四孔和第六孔为通孔；且所述第五孔为盲孔。

区别于现有技术，上述技术方案通过所述感测头安装治具、高度调整治具和机台定位治具的设置，使非接触式光学平坦度量测仪可以安装在曝光机上，曝光机中的载物台经过非接触式光学平坦度量测仪量测调整后精度达到±50um，有效改善玻璃基板在载物台上的形变量，进一步提高产品质量。

附图说明

图1为所述感测头安装治具主视图；

图2为所述感测头安装治具左视图；

图3为所述高度调整治具主视图；

图4为所述高度调整治具俯视图；

图5为所述机台定位治具主视图；

图6为所述机台定位治具左视图；