[实用新型]一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具

权利要求书

1.一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，包括：感测头安装治具、高度调整治具和机台定位治具；

所述感测头安装治具分为量测仪安装区域和治具安装区域；所述量测仪安装区域上设置有与量测仪适配的多个第一孔，且所述第一孔置于量测仪的连接机构上；所述治具安装区域上设置有多个第二孔，所述第二孔为条形，且多个所述第二孔相互平行；

所述高度调整治具上设置有第四孔和第三孔组，所述第三孔组为多组，每组第三孔组中包括多个第三孔，且多个所述第三孔以行阵列排布；所述第四孔置于所述高度调整治具中部，且多组所述第三孔组对称设置于所述第四孔两侧；置于所述第四孔一侧的所述第三孔组与所述第二孔对应，且量测仪上的连接机构穿过所述第二孔并与所述第三孔组连接；

所述机台定位治具置于所述高度调整治具远离所述感测头安装治具的一侧，所述机台定位治具与所述高度调整治具形成“T”字型结构；所述机台定位治具侧面设置有第五孔，所述第五孔内壁上设置有螺纹，所述第五孔与所述第四孔对应，所述第四孔与所述第五孔螺纹连接；所述机台定位治具上还阵列设置有第六孔，所述第六孔的中线在空间上与所述第五孔的中线垂直。

2.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述第四孔为沉孔。

3.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述感测头安装治具的厚度小于所述高度调整治具的厚度；所述高度调整治具的厚度小于所述机台定位治具的厚度。

4.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述第二孔为腰圆形孔。

5.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述第二孔为两个，且所述第四孔一侧设置有两组所述第三孔组。

6.根据权利要求1所述一种非接触式光学平坦度量测仪安装治具，其特征在于，所述第一孔、第二孔、第三孔、第四孔和第六孔为通孔；且所述第五孔为盲孔。