[实用新型]一种硅片干燥装置及硅片干燥箱有效
| 申请号： | 202120680385.6 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN214620465U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 胡建平;吴光;纪兴兴;王红磊 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B21/00;F26B25/02;F26B25/12;F26B25/18 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 张敏 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片干燥装置及硅片干燥箱，所述硅片干燥装置包括基座、夹爪台、夹爪和吹气管路，所述夹爪台和所述吹气管路均设于所述基座上；所述夹爪台能够靠近和远离所述吹气管路；所述夹爪用于夹持硅片，且所述夹爪可拆卸式安装于所述夹爪台上；所述吹气管路用于与气源相连，以对所述硅片进行吹气。所述硅片干燥箱包括如上所述的硅片干燥装置。本实用新型提供的硅片干燥装置操作方便能够实现硅片自动吹干功能，具有极佳的吹干效果，在吹干过程中硅片被稳固夹紧，不会发生晃动，避免了硅片造成损伤甚至破裂的风险。本实用新型提供的硅片干燥箱通过在封闭的空间内对硅片进行吹干，在箱体内产生的水汽可集中处理，不污染作业环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 干燥 装置 干燥箱 | ||
【主权项】：
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