[实用新型]一种硅片干燥装置及硅片干燥箱

权利要求书

1.一种硅片干燥装置，其特征在于，所述硅片干燥装置包括基座、夹爪台、夹爪和吹气管路，所述夹爪台和所述吹气管路均设于所述基座上；

所述夹爪台能够靠近和远离所述吹气管路；

所述夹爪用于夹持硅片，且所述夹爪可拆卸式安装于所述夹爪台上；

所述吹气管路用于与气源相连，以对所述硅片进行吹气。

2.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述吹气管路上设有多个朝向所述夹爪台设置的出气孔。

3.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述夹爪台与所述基座滑动连接，所述基座上设有与所述夹爪台相配合的滑轨。

4.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述硅片干燥装置还包括固定于所述基座上的驱动件，所述驱动件用于驱动所述夹爪台靠近和远离所述吹气管路。

5.根据权利要求1所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述夹爪包括相连的支撑部和夹持部，所述支撑部与所述夹持部之间形成一用于存放硅片的容置空间。

6.根据权利要求5所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述夹持部包括第一夹持部和至少两个第二夹持部，所述第一夹持部能够靠近和远离所述第二夹持部。

7.根据权利要求6所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述第一夹持部通过一弹性件与所述支撑部相连。

8.根据权利要求6所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述支撑部靠近所述第一夹持部的一端设有一紧固件，所述夹爪台上设有与所述第一夹持部对应设置的第一固定板，所述第一固定板上设有与所述紧固件相配的凹口。

9.根据权利要求6所述的硅片干燥装置，其特征在于，所述夹爪台上还设有与所述第二夹持部一一对应设置的第二固定板，所述第二固定板用于与所述第二夹持部相抵接。

10.一种硅片干燥箱，其特征在于，包括箱体和如权利要求1～9中任一项所述的硅片干燥装置，所述硅片干燥装置位于所述箱体内部，且所述基座设于所述箱体的内壁上。