[实用新型]一种硅片干燥装置及硅片干燥箱

说明书

本实用新型提供了一种硅片干燥装置及硅片干燥箱，所述硅片干燥装置包括基座、夹爪台、夹爪和吹气管路，所述夹爪台和所述吹气管路均设于所述基座上；所述夹爪台能够靠近和远离所述吹气管路；所述夹爪用于夹持硅片，且所述夹爪可拆卸式安装于所述夹爪台上；所述吹气管路用于与气源相连，以对所述硅片进行吹气。所述硅片干燥箱包括如上所述的硅片干燥装置。本实用新型提供的硅片干燥装置操作方便能够实现硅片自动吹干功能，具有极佳的吹干效果，在吹干过程中硅片被稳固夹紧，不会发生晃动，避免了硅片造成损伤甚至破裂的风险。本实用新型提供的硅片干燥箱通过在封闭的空间内对硅片进行吹干，在箱体内产生的水汽可集中处理，不污染作业环境。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种硅片干燥装置及硅片干燥箱。

背景技术

目前，在生产过程中，硅片经过抛光工序完成双面抛光后，下片至水盒内，基于制程控制，需按批次抽取硅片进行吹干工序以将硅片表面吹干后，进行平坦度检测。现有技术中在对硅片进行吹干工序时，先将单片抛光后的硅片从水盒取出，放入吹测专用盒，再使用气枪将硅片表面的水滴吹干，最后将吹干后的硅片放入量测盒中，投入量测设备进行检测。而当检测完毕后，需要将硅片重新放回水盒中。

然而，操作人员在使用气枪吹干硅片时，需要不断移动变换吹气方向，作业难度大且硅片在盒内晃动，易造成硅片损伤甚至破裂；同时，硅片吹干效果不可控，容易干扰量测结果；在硅片进行吹干检测的工序中，硅片需要转移多次，且手取硅片的方式转移易导致不可控污染。此外，在用气枪吹干硅片时，硅片表面的水和气枪喷出的压缩空气形成水汽，从而污染到无尘室洁净环境。

因此，有必要发明一种操作简单且具有良好吹干效果的硅片干燥装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片干燥装置，以解决现有技术中存在的硅片吹干方法难以保证硅片的吹干效果，容易干扰量测结果，且作业难度大，硅片容易发生晃动而造成损伤甚至破裂以及周围环境容易受到污染等问题中的一个或多个。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种硅片干燥装置，包括基座、夹爪台、夹爪和吹气管路，所述夹爪台和所述吹气管路均设于所述基座上；

所述夹爪台能够靠近和远离所述吹气管路；

所述夹爪用于夹持硅片，且所述夹爪可拆卸式安装于所述夹爪台上；

所述吹气管路用于与气源相连，以对所述硅片进行吹气。

可选的，所述吹气管路上设有多个朝向所述夹爪台设置的出气孔。

可选的，所述夹爪台与所述基座滑动连接，所述基座上设有与所述夹爪台相配合的滑轨。

可选的，所述硅片干燥装置还包括固定于所述基座上的驱动件，所述驱动件用于驱动所述夹爪台靠近和远离所述吹气管路。

可选的，所述夹爪包括相连的支撑部和夹持部，所述支撑部与所述夹持部之间形成一用于存放硅片的容置空间。

可选的，所述夹持部包括第一夹持部和至少两个第二夹持部，所述第一夹持部能够靠近和远离所述第二夹持部。

可选的，所述第一夹持部通过一弹性件与所述支撑部相连。

可选的，所述支撑部靠近所述第一夹持部的一端设有一紧固件，所述夹爪台上设有与所述第一夹持部对应设置的第一固定板，所述第一固定板上设有与所述紧固件相配的凹口。

可选的，所述夹爪台上还设有与所述第二夹持部一一对应设置的第二固定板，所述第二固定板用于与所述第二夹持部相抵接。

本实用新型还提供一种硅片干燥箱，包括箱体和如上任一项所述的硅片干燥装置，所述硅片干燥装置位于所述箱体内部，且所述基座设于所述箱体的内壁上。